Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorБелянин, А.Ф.
dc.contributor.authorСамойлович, М.И.
dc.contributor.authorЖитковский, В.Д.
dc.contributor.authorКаменева, А.Л.
dc.date.accessioned2014-01-25T12:48:43Z
dc.date.available2014-01-25T12:48:43Z
dc.date.issued2005
dc.description.abstractДля формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком.uk_UA
dc.identifier.citationУдаростойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.uk_UA
dc.identifier.issn2225-5818
dc.identifier.urihttps://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherІнститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН Україниuk_UA
dc.relation.ispartofТехнология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.statuspublished earlieruk_UA
dc.subjectТехнологические процессы и оборудованиеuk_UA
dc.titleУдаростойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной техникеuk_UA
dc.title.alternativeУдаростійкі захисні плівкові покриття на основі AlN в електронній техніціuk_UA
dc.title.alternativeStrengthening thin film based on AIN in electronicsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Файли

Оригінальний контейнер

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
10-Belianin.pdf
Розмір:
555.48 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Контейнер ліцензії

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
817 B
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекція

Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005, № 5