Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002, № 6

ЗМІСТ

МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Ажажа В.М., Ковтун Г.П., Неклюдов И.М.
Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники

Завадский В.А., Ленков С.В., Лукомский Д.В., Мокрицкий В.А.
Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия

Балицкая В.А., Вакив Н.М., Шпотюк О.И.
Математическое моделирование деградации керамических терморезисторов с отрицательным ТКС

ФУНКЦИОНАЛЬНАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

Докторович И.В., Бутенко В.К., Годованюк В.Н., Юрьев В.Г.
Методика определения динамического диапазона полупроводниковых фотоприемников

Курмашев Ш.Д., Викулин И.М., Ленков С.В., Сидорец Р.Г.
Спектральная фоточувствительность Ni—Si:Au поверхностно-барьерных структур с инжекционным усилением

Ащеулов А.А., Гуцул И.В.
Анизотропный термоэлектрический компаратор

ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

Николаенко Ю.Е., Кравец В.Ю., Стрюченко В.А., Белоконенко А.С.
Охлаждение перспективных накопителей на жестких магнитных дисках с применением тепловых труб

Курак В.В., Цыбуленко В.В., Агбомассу В.Л.
Технологический аспект повышения эффективности полупроводниковых фотоэлектрических преобразователей

Круковский С.И.
Комплексное легирование слоев GaAs, InGaAs при жидкофазной эпитаксии

Масенко Б.П.
Условия получения полых кремниевых призм для фотоэлектрических преобразователей

СЕНСОЭЛЕКТРОНИКА

Марончук И.Е., Кучерук А.Д., Ерохин С.Ю., Чорный И.В.
Использование низкоразмерных гетероструктур соединений А³В⁵ в датчиках давления

Лепих Я.И.
Электротепловой элемент сенсоров газа

НОВОЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Савицкий Г.В., Бончик А.Ю., Ижнин И.И., Кияк С.Г., Могиляк И.А., Тростинский И.П.
Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”

ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ

Вербицкий В.Г., Золотаревский В.И., Николаенко Ю.Е., Самотовка Л.И., Товмач Е.С.
Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС

Иванов В.Н., Конакова Р.В., Миленин В.В., Стовповой М.А.
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах

Новосядлый С.П.
Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС

Гаврилюк Г.И., Севастьянов В.В., Бондарчук Л.М., Чечель В.В.
Силовая микросхема для блоков управления газоразрядными источниками света